주식회사 이솔(대표 김병국)이 ‘표준의 날’을 맞아 산업통상자원부 장관상을 수상하는 영예를 안았다. 국내 대표 EUV 반도체 장비기업으로서 EUV 블랭크 마스크 검사 및 펠리클 투과·반사 측정장비 개발을 통해 독보적인 측정·평가기술을 확보하고, 이를 국제표준화와 연결하여 대한민국 반도체 소재·부품·장비(소부장) 산업의 글로벌 위상을 대폭 끌어올린 공로를 인정받은 결과다.
EUV 차세대 반도체 장비 분야의 기술 혁신 주도
주식회사 이솔은 초미세 반도체 공정의 핵심인 EUV(극자외선) 노광 기술 관련 첨단 검사·계측장비를 전문적으로 개발해 온 기업이다. 김병국 대표의 리더십 아래 이솔은 지난 8년 6개월간 연구개발에 매진하며 EUV 블랭크 마스크 검사 설비 및 EUV 펠리클 투과·반사 측정장비를 세계적 수준으로 구현해냈다. 이러한 독자적 측정·평가기술 확보는 국산 반도체 장비의 기술 자립도를 강화하는 동시에 글로벌 시장 진출의 든든한 발판이 되었다.
IEC 국제표준 제안 및 글로벌 진입 성과
이솔의 성과는 단순한 장비 개발에 그치지 않았다. 김병국 대표와 연구진은 'EUV Pellicle 투과율 평가방법’을 국제전기기술위원회(IEC TC47/WG6) 신규 국제표준 ‘IEC 63567-1 ED1’으로 제안하였으며, 2023년 11월 IEC NP(신규 작업항목 제안) 승인 이후 PRVC(표준안 검토) 단계까지 성공적으로 추진해 나가고 있다. 이는 국내 EUV 검사·계측 기술이 세계 표준의 중심에 진입하도록 만든 쾌거로 평가받는다.
산업 현장 연계와 소부장 생태계 신뢰성 확보
특히 표준화 기술을 실질적인 산업 상용화로 연결한 점이 높게 평가받았다. 단순히 문서화된 표준 제정에 멈추지 않고, 실제 EUV 펠리클 투과율 측정설비 개발 및 공급으로 연결하여 국내 EUV 펠리클 소재의 광학특성 개발 피드백, 성능 검증 및 신뢰성 확보에 크게 기여했다. 이로써 국내 반도체 소부장 기업 간의 선순환 생태계를 구축하고 글로벌 경쟁력을 증진하는 데 핵심적인 역할을 해내고 있다.
이번 산업통상자원부 장관상 수상을 계기로 주식회사 이솔은 대한민국 EUV 반도체 기술의 세계화와 국제표준화 주도권을 더욱 확고히 해나갈 것으로 기대된다.
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